晶圓接觸角測(cè)量?jī)x現(xiàn)有測(cè)試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱重法.后者通常稱為潤(rùn)濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應(yīng)用廣泛,測(cè)值直接與準(zhǔn)確的還是外形圖像分析方法，接觸角測(cè)量?jī)x采用外形圖像分析（Shape image analysis）

 一·概述（Summary）

接觸角（contact angle）是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤(rùn)濕程度的量度；接觸角現(xiàn)有測(cè)試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱重法.后者通常稱為潤(rùn)濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應(yīng)用,測(cè)值直接與準(zhǔn)確的還是外形圖像分析方法，接觸角測(cè)量?jī)x采用外形圖像分析（Shape image analysis）方法測(cè)量樣品表面親疏水性、潤(rùn)濕性能、表面張力、表面能等數(shù)據(jù)的設(shè)備

晶圓接觸角測(cè)量?jī)x應(yīng)用：

1、液體在固體表面的接觸角和潤(rùn)濕性：包括靜態(tài)接觸角，動(dòng)態(tài)接觸角（前進(jìn)/后退接觸角），接觸角滯后性等；

2、液滴在固體表面的起始滑動(dòng)角（或滾動(dòng)角），滑動(dòng)速度；（擴(kuò)張功能）

3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤(rùn)濕行為；

4、固體表面自由能，及其各種分子相互作用力（如極性/非極性）的貢獻(xiàn)；

5、液體在固體表面的粘結(jié)力、滯留力等；

6、固體表面在經(jīng)過清洗、處理后的結(jié)果（效果）評(píng)估：如潔凈度，均勻性，和表面能改變幅度等；

7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動(dòng)態(tài)表/界面張力的測(cè)量；

8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場(chǎng)、在線、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)；

9、表面活性物質(zhì)（如表面活性劑）臨界膠團(tuán)溶度（CMC）的測(cè)量：包括全自動(dòng)CMC測(cè)量，全自動(dòng)有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化；

10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究；

11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過程的測(cè)量和分析等。

12、全自動(dòng)檢測(cè)整體解決方案，可搭配至流水線上使用，提高檢測(cè)效率；

二·設(shè)備原理解析（Principle analysis）

我司設(shè)備采用CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺(tái)，可進(jìn)行工作臺(tái)上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái)，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測(cè)試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下，能讓用戶對(duì)材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡(jiǎn)單、符合用戶所需

三·技術(shù)規(guī)格（Specifications）

（一）晶圓接觸角測(cè)量?jī)x觸角測(cè)量?jī)x主機(jī)：

（1）主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念，自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器以狀態(tài)運(yùn)行；

（2）成像部分使用高性能工業(yè)機(jī)芯及無失真遠(yuǎn)心鏡頭確保的成像效果。

（3）工業(yè)級(jí)可調(diào)LED單波長(zhǎng)冷光源系統(tǒng)，成像清晰

（4）自動(dòng)位移平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)Y、Z自動(dòng)定位測(cè)量，定點(diǎn)地位準(zhǔn)確，測(cè)量效率高

技術(shù)規(guī)格：

主機(jī)外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）*600mm(寬)* 670mm(高)

主機(jī)凈重：55KG

工作臺(tái)面尺寸：420mm*420mm

工作臺(tái)移動(dòng)：

前后移動(dòng) 自動(dòng)，行程160mm，精度0.01mm

上下移動(dòng) 手動(dòng)，行程20mm，精度0.01mm

進(jìn)樣器移動(dòng)：自動(dòng)上下60mm（自動(dòng)）; 左右30mm

工業(yè)鏡頭移動(dòng)：前后30mm（微調(diào)3mm）

工業(yè)鏡頭：0.7X *-4.5X高清遠(yuǎn)心連續(xù)變倍變焦顯微鏡

CCD：SONY*高速工業(yè)級(jí)芯片；60幀/S

鏡頭角度可調(diào)試：仰視、平視、俯視多視角觀察

光源：LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級(jí)冷光源；使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時(shí)以上

電源及功率：220V / 60HZ

（二）分析軟件：

（1）接觸角測(cè)量分析軟件自動(dòng)橢圓擬合法（一鍵自動(dòng)擬合，不存在人工誤差）包括：

圓法擬合（適用于低角度接觸角測(cè)量）

橢圓/斜橢圓擬合法（適用于高角度接觸角擬合）（應(yīng)用于120°以上高角度接觸角測(cè)量）

微分橢圓法/微分圓法（應(yīng)用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合）

動(dòng)態(tài)接觸角擬合包括：
潤(rùn)濕性能測(cè)試（應(yīng)用于慢性吸收材料、潤(rùn)濕材料的表面吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試，批量處理）

視頻擬合（應(yīng)用于吸收或潤(rùn)濕速度較快的樣品的吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試，視頻動(dòng)態(tài)處理）

動(dòng)態(tài)表面/界面張力測(cè)量（測(cè)量液體整個(gè)過程的張力變化趨勢(shì)，準(zhǔn)確的判定其真實(shí)的表面/界面張力）
表面能量計(jì)算（使用多種表面能計(jì)算方式測(cè)量對(duì)固體表面能量進(jìn)行分析）
粘附功
數(shù)據(jù)報(bào)告（支持WORD、Excel類型數(shù)據(jù)報(bào)告，自動(dòng)生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖）
規(guī)格：

接觸角測(cè)量范圍：0-180°
接觸角測(cè)量精度：±0.1°
表界面張力測(cè)量范圍：0-2000mN/m；測(cè)量精度：0.01 mN/m

高精度自動(dòng)滴液系統(tǒng)：

軟件高精度滴液系統(tǒng)；滴液精度：0.0 1μl
一鍵式多點(diǎn)測(cè)量（可多次循環(huán)）：自動(dòng)進(jìn)樣→自動(dòng)接液→軟件自動(dòng)完成測(cè)量→自動(dòng)換下一個(gè)點(diǎn)位
可針對(duì)不同樣品設(shè)置測(cè)量方案并可保存，方便下次再次測(cè)量同一類樣品時(shí)直接調(diào)取測(cè)量

四·產(chǎn)品特點(diǎn)（Product features）

專業(yè)級(jí)的高精度注射系統(tǒng)，全電腦控制，液滴控制精度可達(dá)0.01μl
Y軸自動(dòng)位移，平臺(tái)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，可一次測(cè)量多個(gè)已設(shè)置點(diǎn)并給出對(duì)應(yīng)測(cè)量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化測(cè)量
工業(yè)級(jí)可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)（壽命25000H以上），清晰的成像，同時(shí)避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā)
采用高性能工業(yè)機(jī)芯，無失真遠(yuǎn)心鏡頭，確保的成像效果。
采用USB2.0標(biāo)準(zhǔn)接口，數(shù)據(jù)傳輸速度快，兼容性高
高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)，模塊化設(shè)計(jì)理念，可配置各種常用測(cè)量附件
集成芯片電路控制，保證儀器以狀態(tài)運(yùn)行
多種輔助模塊選取，滿足更多的外部測(cè)試條件
光學(xué)系統(tǒng)頂式法，適合超低角度測(cè)量和疏水材料測(cè)量
多種接觸角分析方法，更適合多種材料接觸角測(cè)量
能夠自動(dòng)識(shí)別基準(zhǔn)線及輪廓線，無人為誤差
高速全自動(dòng)操作測(cè)量，且直觀讀取數(shù)據(jù)結(jié)果，有圖有真相，有擬合痕跡，測(cè)流量結(jié)果是否準(zhǔn)確一目了然
表面接觸角分析模塊，更簡(jiǎn)捷的操作，更準(zhǔn)確的結(jié)果
視頻快速測(cè)試數(shù)據(jù)，可連續(xù)性進(jìn)測(cè)試接觸角形態(tài)變化
一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開攝像頭； 【測(cè)試】--準(zhǔn)確的控制滴液-自動(dòng)接液-高精度的進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量-測(cè)量完畢后自動(dòng)更換測(cè)量位置直至整個(gè)原設(shè)置好的測(cè)量方案運(yùn)行結(jié)束